本文主要介绍了QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的安装、调试的过程以及仪器的维护，整个仪器的各部位的安装所用零件和安装方法，以及在仪器安装完成后，进行仪器的简单调试，和仪器的维护方法。
目录
引言 1
一、QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的介绍 2
（一）QIII Ultra SPD仪器的简介 2
（二）QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的使用要求 2
二、QIII Ultra SPD表面粒子探测器的安装 3
（一）QIII Ultra SPD的安装配件 3
（二）QIII Ultra SPD的外部连接安装 7
三、QIII Ultra SPD表面粒子探测器软件界面调试 8
（一）FASTPASS软件界面操作模式 9
（二）QIII Ultra SPD的扩展模式界面调试 9
（三）QIII Ultra SPD的状态栏显示 14
（三）QIII Ultra SPD系统中的数据下载 15
四、QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的维护 19
（一）机器的清理 19
（二）机器的维护 19
（三）机器故障分析及维护 19
总结 20
参考文献 21
致谢 22
引言
微粒子探测器是由显微镜发展而来的。随着社会工业水平的不断提升，对微粒子探测器的应用更加广泛。在医药、微生物、电子、精密器械、彩管制造等行业中广泛应用。也可以用来监控不同级别的工作台、净化室及净化车间的净化效果和洁净级别，以来确保产品的质量。
而粒子探测器中的QIII Ultra SPD表面微粒子探测器支持大流量采样，操作方便，能有效较少测量时间。本文就是主要介绍了微粒子探测器的作用以及如何正确的安装和调试好仪器和如何维护好仪器，使得仪器在测量环境是更好的发挥它的作用。
一、QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的介绍
（一）QIII Ultra SPD仪器的简介
QIII Ultra SPD表面微粒子探测 *景先生毕设|www.jxszl.com +Q: &351916072& 
器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。它广泛应用于为药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等机构，还用在电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。表面微粒子探测器由显微镜发展而来，经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程，其中激光空气粒子计数器测试速度快、动态分布宽、不受人为影响。粒子计数器使用激光二极管光源，以及用于粒子检测的聚光。粒子从激光二极管散射光，而聚光将光源聚集在光电二极管上，然后二极管将光脉冲转换成电脉冲，脉冲高度与粒径成比例。脉冲会被计数，然后测量其振幅求出粒径，结果会显示为特定粒径范围内的粒子计数，或显示为总体粒子计数。而表面微粒子探测器中的QIII Ultra SPD表面微粒子探测器支持大流量采样，操作方便，能有效较少测量时间。主机方便小巧，侧面两只和前面一只的手柄使得携带更方便，同时，选用两组热插拔交换电池，使得操作连贯。
（二）QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的使用要求
QIII Ultra SPD表面微粒子探测器是以最新氦氖镭射或镭射二极管为镭射光源，侦测微粒子最小粒径可达0.1 μm，基础理论建立在微粒子通过激光束使雷射光产生光的变化，从而反应出微粒子的大小及数量。 因此在使用的环境上，主要是应用在具有洁净空调调节的无尘或者是无菌的环境中使用。一般而言建议洁净度范围依 FEDSTD209E所规范的等级至少需在Class100,000 级以上的环境中使用。即在一立方英尺的体积中，大于0.5µm 以上的微粒子累积值不得超过100,000 颗，大于5.0µm 以上的微粒子累积值不得超过700颗是为符合Class100,000 等级。如果量测环境等级低于Class100,000级，在使用微粒子计数器时，要搭配稀释过滤设备使用，防止计数器的使用寿命缩短。
二、QIII Ultra SPD表面粒子探测器的安装
（一）QIII Ultra SPD的安装配件
1. QIII Ultra SPD的前连接器
QIII Ultra SPD表面粒子探测器的前连接器用于连接QIII Ultra SPD的Probe，即取样探头。真空吸入口是在左边。它的右边是泵排气出口，通信连接口在上面，有两个定位孔分别在顶部和底部，如图21所示。
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图21 QIII Ultra SPD的前连接器
2. QIII Ultra SPD的背板
QIII Ultra SPD表面微粒子探测器的背板包括后面板，主要提供电池、电源连接和辅助提手，以太网连接用于数据传送，预留了以太网连接接口。
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图22 QIII Ultra SPD的背板
背板上安装好电池后，前面板上的指示灯将显示仪器的电源状态，上面的LED灯显示连接到交流电源的状态，下面的LED灯显示电池充电的状态，如图23图所示。
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图23 QIII Ultra SPD的前板
3. QIII Ultra SPD表探头组件和净化过滤器
（1）探头组件
固定探头组件的连接器连接到QIII Ultra SPD单元，如图14。
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图24 QIII Ultra SPD的固定探头组件
Probe探头内有四个出气口会排出一定高速洁净空气和一个吸入口将待测对象表面的空气和颗粒吸入传感器。两个真空管，满足循环空气通过系统。一管提供真空泵排出的洁净空气流化并吹起表面颗粒。另一管吸入吹起的颗粒，使其通过激光传感器。按下红色按钮启动真空泵，泵开始运转并开始采样，绿色指示灯亮显示采样正在进行，如图25。

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