tiv元素对crn基薄膜的微观组织力学性能及摩擦性能的影响(附件)【字数：12882】
目录
摘要 Ⅰ
Abstract Ⅲ
第一章 绪 论 1
1.1 引言 1
1.2 纳米复合膜 1
1.2.1 制备方法 1
1.2.2 分类 1
*景先生毕设|www.jxszl.com +Q: *351916072*
1.2.3 致硬机理 2
1.3 纳米多层膜 2
1.3.1 制备方法 3
1.3.2 分类 3
1.3.3 纳米多层膜的致硬机理 3
1.4 摩擦性能 3
1.4.1 摩擦 3
1.4.2 磨损 4
1.5 选题的意义 6
1.6 研究内容 6
第二章 薄膜的制备与表征 7
2.1 引言 7
2.2 制备薄膜的实验设备和制备原理 7
2.2.1 实验设备 7
2.2.2 制备原理 7
2.3 薄膜的检测设备和检测的方法 9
2.3.1 扫描电子显微镜 9
2.3.2 X射线衍射仪 10
2.3.3显微硬度测试仪 11
2.3.4 能谱仪 11
2.3.5 摩擦磨损测试仪 12
2.3.6 薄膜厚度的测量 12
第三章CrTiN、CrVN复合膜的显微结构与各项性能研究 13
3.1 引言 13
3.2 CrTiN复合膜的显微组织结构和各项力学性能研究 13
3.2.1 实验过程 13
3.2.2实验结果与讨论 15
3.2.2.1 CrN复合膜中的微结构 15
3.2.2.2 CrTiN复合膜中的Ti含量 16
3.2.2.3Ti含量对CrTiN复合膜微结构的影响 17
3.2.2.4 Ti含量对CrTiN复合膜力学性能的影响 18
3.2.2.5 Ti含量对CrTiN复合膜摩擦性能的影响 19
3.2.2.6 CrTiN复合膜截面形貌 20
3.3 CrVN复合薄膜的微结构与力学性能研究 20
3.3.1实验过程 20
3.3.2实验结果与讨论 21
3.3.2.1 CrTiVN复合薄膜中的V元素的含量 21
3.3.2.2 V含量对CrTiVN复合膜微结构的影响 22
3.3.2.3 V含量对CrTiVN复合膜力学性能的影响 23
3.3.2.4 V含量对Cr TiVN复合膜摩擦磨损性能的影响 23
3.4 本章小结 24
结论 26 致谢 27
参考文献 28
第一章 绪 论
1.1 引言
科技的快速发展，形形色色的材料更层出不穷。无论器件的尺寸大小，其对材料要求也非常的高，在各领域，薄膜材料占据着无可替代的角色，就普通材料而言，若根据器件的需要，在其表层覆上一层薄膜，只为增加材料的某个或某些性能是一般的普通材料不可比拟的。故薄膜材料已在我们生活中的各方面占有很大的不可替代地位。
一般来说，我们所知道的薄膜，无外乎就是为增强材料的某方面的性能而采用特殊手段覆盖在原材料上一种特殊增强材料性能的物质，增强材料性能可以在一个点增强，也可以是一条线上增强，亦可在一个面上增强，当然薄膜层的厚度可随这材料的要求进行合理的安排和选择。
在无论是经济还是科技飞速发展的今天，纳米薄膜已成为我们急需创新和研发的一种新材料，按照功能来分类的话，纳米结构薄膜和纳米功能薄膜是薄膜的两大分流。
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